超音波洗浄(ultrasonic cleaning)の原理はキャビテーション(cavitation)効果を利用するもので、このキャビテーションは気泡の進展によるマイクロ攪拌と気泡の破壊過程で発生する圧力による熱と化学的作用を伴うようになる。 このような作用の連続と複合、繰り返しによって洗浄液の化学反応が促され、分散作用が増加して洗浄物の表面に付いた異物がきれいに取り除かれ、洗浄剤の選択によって超精密洗浄も行われる。超音波は発振部と振動部のSETです。